Sur Micronora 2018, les limites de l’assemblage microrobotique sont repoussées par la présentation d’une maison en 3D, à l’extrémité d’une fibre optique clivée de 120 µm de diamètre. Elle sera observable grâce à un microscope électronique à balayage (MEB) présent pour la première fois sur le Zoom du salon. Unique en Europe, cette plateforme est opérationnelle depuis 2014 et gérée par le département AS2M de l’Institut FEMTO-ST, hébergé à L’École nationale supérieure de mécanique et des microtechniques (ENSMM) de Besançon. Baptisée µRobotex, la plateforme ouvre la manipulation et l’assemblage de micro et nano-composants à la réalisation de nano-systèmes en trois dimensions.
Son originalité consiste à avoir intégré un système robotique inédit 6 axes et ultra-résolu dans un microscope électronique à balayage. Ainsi, elle allie capacités de grossissement non atteignable par un système optique classique et des positionnements dans l’espace d’une très grande résolution. Une commande pilote simultanément le robot, avec synchronisation des axes toutes les 500 µs, à une résolution de quelques nanomètres (entre 1 et 10 nm), et la combinaison MEB/FIB/GIS. Elle trouve des applications dans des domaines tels que l’optique (MOEMS), la mécatronique (MEMS) ou l’horlogerie, la biologie (manipulation et caractérisation des pollens) ou encore la physique des matériaux (flexoélectricité, onde de surface…).