Le nettoyage des équipements de production pour l'industrie des semi-conducteurs, tels que les composants pour les technologies DUV et EUV, les composants de la technologie du vide pour une utilisation dans les domaines UHV, XHV et UCV, les modules pour les systèmes laser haute puissance, les appareils de mesure et d'analyse de haute technologie, ainsi que les optiques de précision et les produits du génie biomédical, doit répondre à des exigences extrêmement élevées en termes de propreté particulaire, filmique et chimique. Les spécifications requises varient certes en fonction du composant et du domaine d'application, mais les installations de nettoyage classiques…