Un microscope à profondeur de champ étendue

Avec le Visioner 1, Zeiss a lancé cette année un microscope numérique innovant qui, pour la première fois, permet, en temps réel, une mise au point automatisée sur toute la profondeur de champ, grâce à son système de lentilles à micromiroirs (MALS).

Grâce à sa profondeur de champ étendue (EDoF), les utilisateurs pourront observer les échantillons à contrôler sans avoir à combiner et à post-traiter différents plans focaux à partir d’une série d’images. En effet, les systèmes d’inspection conventionnels sont toujours confrontés à une faible profondeur de champ, en particulier à fort grossissement. Cela signifie que seule une petite zone de l’échantillon est mise au point, ce qui peut conduire à négliger des caractéristiques et, en conséquence, à rendre l’inspection incomplète. Pour obtenir une plus grande profondeur de champ, refaire la mise au point puis effectuer un post-traitement est une solution à ce problème ; mais il est long et complexe.

L’alternative est donc la technologie MALS : il s’agit d’un système microélectromécanique (MEMS) constitué d’une matrice de petits miroirs mesurant 100 x 100 µm. Ceux-ci peuvent être ajustés individuellement pour générer des lentilles « virtuelles » avec des courbures différentes et donc des plans de focalisation différents. Cela permet au microscope numérique d’imager avec précision n’importe quel point de l’échantillon. Le résultat est une profondeur de champ étendue cent fois supérieure à celle des microscopes numériques conventionnels.