Ophir : une nouvelle sonde de mesure pour les lasers pulsés

MKS Instruments avait présenté pour la première fois lors du salon SPIE Photonics West 2020 sa sonde de mesure d’énergie Ophir PE50U-DIFH-C. Cette sonde a été spécialement développée pour les lasers pulsés haute énergie. Grâce à la combinaison de matériaux spécifiques composant son diffuseur, il est possible de mesurer des faisceaux UV, à partir de 193 nm, à des fréquences élevées de 10 kHz et de hautes densités d’énergie jusqu’à 1 J/cm² à 193 nm, et jusqu’à 2 J/cm² au-delà de 240 nm. Contrairement aux substrats céramiques habituellement employés, le matériau dont est constitué le diffuseur de la sonde n’absorbe pas l’humidité de l’air ambiant. Les opérations de séchage de la sonde ne sont donc plus nécessaires, ce qui permet d’obtenir des mesures fiables dès la première impulsion. Pouvoir mesurer des lasers pulsés de haute énergie avec une grande fiabilité est essentiel, aussi bien pour la production de dispositifs médicaux que pour le traitement du verre, par exemple dans la fabrication d’écrans à l’aide de laser pulsés ou pour la fabrication de puces électroniques.

Revêtement inédit

Ophir PE50U-DIFH-C fait preuve d’une impressionnante flexibilité et fonctionne avec une large gamme de longueurs d’ondes, de niveaux de performance et de taux de répétition. La calibration à 193 nm, 248 nm, 355 nm, 532 nm, 1064 nm, 2100 nm et 2940 nm garantit des mesures extrêmement précises. Sa grande ouverture de 35 mm permet de mesurer des énergies laser comprises entre 10 µJ et 10 J. Du fait de son revêtement inédit, elle reste insensible aux variations des conditions ambiantes, ce qui en fait un grand atout. Du reste, avec 90 J/cm² pour des impulsions de l’ordre de la milliseconde, elle offre un seuil élevé d’endommagement.

La sonde dispose d’une interface Smart Connector qui permet de la raccorder facilement à tous les appareils d’affichage Ophir (Centauri, StarBright, Vega, Nova II et StarLite) mais aussi directement à un ordinateur, via une interface USB.